• 尊龙凯时·(中国)人生就是搏!

    產品與服務

    先進裝備

    晶盛機電以創新引領產品、工藝、裝備的疊代和突破,聚焦國際先進科技及卡脖子技術,推動國產半導體裝備的產業化進程和產業鏈升級。以核心技術驅動公司穩健及可持續發展,以價值引領服務客戶和投資者。

    8英寸「單片式矽外延生長爐』

    晶盛機電研發的8英寸單片式矽外延生長爐,可兼容6英寸、8英寸矽晶片生長,結構可靠穩定,有較好的膜厚和電阻均勻性
    查看更多

    6英寸「碳化矽外延爐』

    晶盛機電研發的6英寸碳化矽外延爐,可實現生長過程自動化控制,有較好的薄膜均勻性,兼容4英寸、6英寸外延片生長,結構簡單,單片成本低

    6英寸「立式碳化矽外延爐』

    晶盛機電研發的6英寸立式碳化矽外延爐,可實現對4英寸、6英寸晶圓外延的生長,成膜質量優,工藝穩定性好,生產效率有效提升

    6英寸「雙片式碳化矽外延爐』

    晶盛機電研發的6英寸雙片式碳化矽外延爐,與單片設備相比,單台產能增加70%,單片運營成本降幅可達30%以上

    8英寸「爐管』

    晶盛機電研發的8英寸爐管,可同時對150片產品進行加工,滿足多晶矽、退火等工藝需求,設備自動化程度高,可對接工廠MES系統

    12英寸「爐管』

    晶盛機電研發的12英寸爐管,可同時對125片產品進行加工,滿足多晶矽、退火等工藝需求,設備自動化程度高,可對接工廠MES系統

    先進制程及功率半導體裝備(部分產品)

    以CVD技術為核心,應用於先進制程、功率半導體的外延裝備
    8英寸「單片式矽外延生長爐』
    6英寸「碳化矽外延爐』
    6英寸「立式碳化矽外延爐』
    6英寸「雙片式碳化矽外延爐』
    8英寸「爐管』
    12英寸「爐管』
    先進制程及功率半導體裝備(部分產品)

    8英寸「單片式矽外延生長爐』

    晶盛機電研發的8英寸單片式矽外延生長爐,可兼容6英寸、8英寸矽晶片生長,結構可靠穩定,有較好的膜厚和電阻均勻性

    6英寸「碳化矽外延爐』

    晶盛機電研發的6英寸碳化矽外延爐,可實現生長過程自動化控制,有較好的薄膜均勻性,兼容4英寸、6英寸外延片生長,結構簡單,單片成本低

    6英寸「立式碳化矽外延爐』

    晶盛機電研發的6英寸立式碳化矽外延爐,可實現對4英寸、6英寸晶圓外延的生長,成膜質量優,工藝穩定性好,生產效率有效提升

    6英寸「雙片式碳化矽外延爐』

    晶盛機電研發的6英寸雙片式碳化矽外延爐,與單片設備相比,單台產能增加70%,單片運營成本降幅可達30%以上

    8英寸「爐管』

    晶盛機電研發的8英寸爐管,可同時對150片產品進行加工,滿足多晶矽、退火等工藝需求,設備自動化程度高,可對接工廠MES系統

    12英寸「爐管』

    晶盛機電研發的12英寸爐管,可同時對125片產品進行加工,滿足多晶矽、退火等工藝需求,設備自動化程度高,可對接工廠MES系統

    先進制程及功率半導體裝備(部分產品)

    以CVD技術為核心,應用於先進制程、功率半導體的外延裝備
    8英寸「單片式矽外延生長爐』
    6英寸「碳化矽外延爐』
    6英寸「立式碳化矽外延爐』
    6英寸「雙片式碳化矽外延爐』
    8英寸「爐管』
    12英寸「爐管』
    先進制程及功率半導體裝備(部分產品)

    8英寸「單片式矽外延生長爐』

    晶盛機電研發的8英寸單片式矽外延生長爐,可兼容6英寸、8英寸矽晶片生長,結構可靠穩定,有較好的膜厚和電阻均勻性

    6英寸「碳化矽外延爐』

    晶盛機電研發的6英寸碳化矽外延爐,可實現生長過程自動化控制,有較好的薄膜均勻性,兼容4英寸、6英寸外延片生長,結構簡單,單片成本低

    6英寸「立式碳化矽外延爐』

    晶盛機電研發的6英寸立式碳化矽外延爐,可實現對4英寸、6英寸晶圓外延的生長,成膜質量優,工藝穩定性好,生產效率有效提升

    6英寸「雙片式碳化矽外延爐』

    晶盛機電研發的6英寸雙片式碳化矽外延爐,與單片設備相比,單台產能增加70%,單片運營成本降幅可達30%以上

    8英寸「爐管』

    晶盛機電研發的8英寸爐管,可同時對150片產品進行加工,滿足多晶矽、退火等工藝需求,設備自動化程度高,可對接工廠MES系統

    12英寸「爐管』

    晶盛機電研發的12英寸爐管,可同時對125片產品進行加工,滿足多晶矽、退火等工藝需求,設備自動化程度高,可對接工廠MES系統

    先進制程及功率半導體裝備(部分產品)

    以CVD技術為核心,應用於先進制程、功率半導體的外延裝備
    8英寸「單片式矽外延生長爐』
    6英寸「碳化矽外延爐』
    6英寸「立式碳化矽外延爐』
    6英寸「雙片式碳化矽外延爐』
    8英寸「爐管』
    12英寸「爐管』
    先進制程及功率半導體裝備(部分產品)